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2024/12
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Keithley吉时利4200半导体参数分析仪中文使用说明书
吉时利4200系列参数分析仪(如4200A-SCS)是一种可以量身定制、全面集成的参数分析仪,以下是安泰仪器租赁中心小编整理的中文使用说明书及产品手册的概要内容,如需详细电子版可联系客服领取。

 

一、产品概述

吉时利4200系列参数分析仪(如4200A-SCS)是一种可以量身定制、全面集成的参数分析仪,能够同步查看电流电压(I-V)、电容电压(C-V)和超快速脉冲式I-V特性。它加快了半导体、材料和工艺开发速度,并提供了清晰的测量和分析功能。

 

Keithley吉时利4200半导体参数分析仪中文使用说明书


二、主要性能指标

I-V源测量单元(SMU):

提供±210V/100mA或±210V/1A模块。

测量分辨率可达100fA,选配前端放大器后可提供0.1fA的测量分辨率。

支持10mHz至10Hz的超低频率电容测量。

C-V多频率电容单元(CVU):

提供AC阻抗测量(C-V、C-f、C-t)。

频率范围从1kHz至10MHz。

内置±30V(60V差分)DC偏置源,可扩展至±210V(420V差分)。

脉冲式I-V超快速脉冲测量单元(PMU):

提供两个独立的或同步的高速脉冲I-V源和测量通道。

采样率高达200MSa/s,采样时间为5ns。

支持±40V(80Vp-p)和±800mA的脉冲信号。


三、软件功能

ClariusTM基于GUI的软件:

提供清晰的测量和分析功能。

嵌入式测量专业知识和数百项随时可投入使用的应用测试。

灵活配置和升级:

吉时利4200系列参数分析仪可以根据不同用户需求进行灵活配置。

支持系统升级,以适应未来的测试需求。


四、操作指南

连接与设置:

将仪器与待测设备正确连接,包括电源、信号线和地线等。

进入仪器的设置界面,配置测试参数,如电压范围、电流限制、测量分辨率等。

测试操作:

根据测试需求选择合适的测试模式,如I-V测试、C-V测试或脉冲I-V测试。

启动测试,并观察测试结果。仪器将自动记录并显示测试数据,包括电流、电压、电容等参数。

数据分析与保存:

使用Clarius软件对测试结果进行分析,如绘制I-V曲线、C-V曲线等。

将测试结果保存为文件,以便后续处理或报告。


五、注意事项与维护

注意事项:

在使用仪器前,请仔细阅读使用说明书,了解仪器的性能和操作方法。

避免在潮湿、高温或强磁场环境下使用仪器。

定期检查仪器的连接线和接口,确保连接可靠。

维护:

定期对仪器进行校准,以确保测试结果的准确性。

清洁仪器表面和内部,避免灰尘和污垢影响仪器性能。

如遇故障或问题,请及时联系吉时利的技术支持团队进行维修或咨询。